供应磁控溅射电源

直流磁控溅射电源用于镀制金属膜及化合物膜，例如金、银、铝、钛、铬等，输出电压为直流，具有稳流功能，稳流精度高（达1%）。
品名	直流磁控溅射电源
型号	MSD系列
输入	相数	三相+N
	电压	380V
	频率	50Hz
	输入方式	4线（含零线）
输出	波形	直流
	功率	20kW~200KW（可定制）
	电压	0—1200V（可定制）
	稳定度	≤1%
	电流	0—200A（可定制）
	稳定度	≤1%
	纹波及杂讯	≤5%或≤3%
	效率	≥90%
控制	控制方式	标准方式：恒流
		可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换
	控制接口	标准方式：面板手动
		可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus)
保护	具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、**载等保护功能
冷却	风冷或水冷
外型	防护等级	IP21
	单元尺寸(W*D*H)	箱体：440(W)X220(H)X560(D) （20KW风冷）
面板：482(W)X248(H)
重量	约30KG（30KW）
备注