供应直流偏压电源/偏压真空电源

偏压电源主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等。主要作用包括：被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。合理选用偏压电源可以有效地抑制工件表面打火，明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。该电源输出波形为直流。
品名	偏压电源  
型号	BD系列  
输入	相数  	三相+N
	电压 	380V
	频率 	50Hz
	输入方式 	4线（含零线）
输出	波形 	脉冲  
	功率 	10KW~100KW（可定制）  
	电压 	0—1200V（可定制）  
	稳定度 	≤1%  
	电流 	0—100A（可定制）  
	稳定度 	≤1%  
	纹波及杂讯 	≤2%  
	效率 	≥90%  
控制	控制方式	标准方式：恒压/高低压切换
		可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换
	控制接口
	标准方式：面板手动
		可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus)
保护	具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、**载等保护功能  
冷却	风冷或水冷  
外型	防护等级 	 IP21 
	单元尺寸
(W*D*H)	箱体：440(W)X260(H)X580(D) （20KW风冷）
面板：482(W)X280(H)
重量	30KG（20KW）   
备注